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关于Ellipsometry
确定薄膜的折射率和厚度。
Determine the refractive index and the thickness of the nonabsorbing test film
from the measured at the ellipsometer to the
ellipsometric angles psi and delta by plotting the nomogram
for the system substrate/test film/vacuum.
最新版本Varies with device的更新日志
Last updated on 2018年09月14日
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